*14:06JST リンテック---大幅反発、ペリクルの量産報道が伝わり
リンテック＜7966＞は大幅反発。最先端半導体の製造時に使う防じん膜の量産を26年内にも開始すると報じられている。量産するのは、EUV露光装置向けで、フォトマスクを保護する「ペリクル」とよばれる部材。カーボンナノチューブを使ったペリクルを開発している。つくば市にある産総研の施設に量産設備を設け、年間1万枚の生産を計画。総投資額は70億円規模を見込んでいるもよう。AI投資拡大によるメリット享受期待がより意識される展開にも。
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