エッチング装置で世界シェア2位のメーカー
露光したパターンをシリコンウェーハに刻み込むエッチング装置でも、日本企業は重要な地位を占めます。
エッチング装置は、プラズマ等を使って微細パターンを半導体基板に彫り込む装置ですが、東京エレクトロン（TEL）はこの分野で世界シェア2位につける有力メーカーです。トップはラム・リサーチ（米国）ですが、東京エレクトロンは高密度プラズマ制御などで強みを持ち、メモリ向け装置などで健闘しています。
また日立ハイテク（日立グループ）もエッチング装置の製品を持っています。
エッチングは装置自体の精密制御とプロセスレシピ（どんな条件で削るか）の両方が重要で、日本メーカーはいわば職人的なノウハウをコツコツ蓄積して世界と戦っている状況です。
シリコンウェーハ表面の洗浄装置は“日本のお家芸”
次に成膜装置を見ていきましょう。ここはアプライド・マテリアルズ（米国）が総合力で世界トップですが、こちらでも東京エレクトロンがエッチングと並び主要プレーヤーの位置につけています。同社はプラズマCVD装置やALD装置などを手掛け、高性能な薄膜形成に貢献しています。
またKOKUSAI ELECTRIC（日本）は拡散炉・アニール炉などの熱処理成膜装置で高いシェアを持ちます。KOKUSAI ELECTRICは一時、アプライド・マテリアルズの傘下に入る話もありましたが、独立を保ち、2023年には東証プライム市場に再上場しました。
シリコンウェーハ上に原子レベルで均一な薄膜を生成するこの高度な工程でも、日本企業の職人的な技術が活きています。
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